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Bau hybrider Mikroschaltungen: Einführung in die Dünn- und Dickschichttechnologie
Springer-Verlag Berlin Heidelberg
Dr.-Ing. Ernst Lüder (auth.)
bild
schicht
schichten
kondensatoren
pasten
widerstand
substrat
herstellung
druck
z.b
eigenschaften
elektronen
tabelle
wobei
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films
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maske
oxid
verwendet
d.h
folgt
kathode
rezipienten
spannung
anode
ppm
proc
tantal
aufstauben
widerstanden
struktur
urn
Année:
1977
Langue:
german
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german, 1977
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