Изучение оборудования и технологии нанесения слоев методом магнетронного распыления материалов
Архипов А.В. и др.
А.В. Архипов, В.Д. Дмитриев, А.В. Волков, И.В. Лофицкий. — Самара : Изд-во Самар, гос. аэрокосм, ун-та, 2001. — 24 c.Приведены теоретические сведения по технологии нанесения слоев методом магнетронного распыления материалов. Описаны основные узлы и блоки агрегата непрерывного действия типа О1НИ-7-006, а также порядок работы на нем для приобретения практических навыков нанесения материалов на подложку.
Рекомендуются студентам специальности 20.08.00 при изучении дисциплины “Технологические процессы микроэлектроники”. Подготовлены на кафедре МиТРЭА.
Рекомендуются студентам специальности 20.08.00 при изучении дисциплины “Технологические процессы микроэлектроники”. Подготовлены на кафедре МиТРЭА.
Langue:
russian
Fichier:
PDF, 910 KB
IPFS:
,
russian0